Rpo-6 является наилучшей альтернативой для разработки процессов ХМП, экономично полирует пластины в лабораторных условиях. Система обладает высокой гибкостью для полировки любых типов материалов.

• Заменяемые головки для пластин до 6"
• Замкнутый контур управления прижимающей силой
• Используется для измерения  трения и износа подкладок на месте
• Стандартные процессы и поставка расходных материалов

Основные характеристики

• Химико-механическое полирование (ХМП)
• Измерение трения на месте
• Измерение износа подложки на месте
• Приведение к требуемым условиям как на месте, так и вне рабочего места
• Размер пластины
• Независимые программируемые насосы для подачи суспензий, воды и других химических веществ

Спецификации

• Ручная загрузка пластин
• Настольная система полирования ХМП для  научно-исследовательских работ и опытно-конструкторских работ
• Приведение к требуемым условиям на месте и вне рабочего места
• Образец до 6"
• Линии подачи воды и суспензии с использованием программируемых насосов
• Опции для измерения  трения и износа подкладок на месте
• Высокая прочность и хорошее регулирование прижимающей силы
• Установочная поверхность: Ш 870 х Г 800 х В 870 мм
• Диаметр плиты: 170 мм
• Приложения: ХМП,  МЭМС, испытания расходных материалов

Приложения

• Полировальная система
• Разработка суспензий
• Разработка частиц
• Разработка процессов
• Определение характеристик подложки
• Разработка условий