Описание:

• Камера, вмещающая пластины диаметром до 200 мм, квадратные подложки со стороной до 200 мм или 3-мерные объекты высотой до 50 мм.
• Настраиваемый рабочий инструмент, позволяющий легко и просто производить загрузку/выгрузку подложек.
• Камера, оснащенная нагреваемыми стенками, которые обеспечивают температуру свыше 500 °С, а также подогреваемой дверцей с температурой нагрева до 300 °С. Поддержание температуры подложки с отклонением не более ± 1 °С.
• Линии подачи газа, обеспечивающие равномерное распределение газа по всей подложке.
• Газовая линия с металлическим уплотнением.

Другие особенности системы:

• Система контроля давления.
• Управляемая пользователем подача газа посредством РРГ.
• Простота использования и обслуживания благодаря модульной конструкции и удобному доступу к основным узлам.
• Возможность работы с микро- и нанопорошками.
• Возможность осуществлять полный контроль над такими параметрами процесса как температура, время, уровень подачи газа, давления, расположения и определения места подложки.

Технические характеристики