PlasmaPro 80 компактная система реактивного ионного травления с открытой загрузкой. Простая в использовании система с возможностью реализации высококачественных процессов.

Системы на платформе PlasmaPro80 идеально подходят для научных исследований и разработок или мелкосерийного производства, размеры подложек могут доходить до 200 мм. Отсутствие шлюзовой камеры обеспечивает быструю загрузку-выгрузку пластин, что идеально подходит для исследовательских работ, создания опытных образцов и мелкосерийного производства.

Технологические особенности системы:

• малый размер системы
• размер подложки до 200 мм в диаметре
• низкая себестоимость
• превосходный контроль процесса травления
• турбомолекулярный насос обеспечивает высокую скорость откачки и низкое базовое давление
• регистрации данных каждые 500мс позволяет определить состояние системы в любой момент времени
• оптическая эмиссионная спектрометрия для определения конечной точки травления или окончания очистки камеры