Компактная система для травления в индуктивно-связанной плазме с открытой загрузкой. Источник индуктивно-связанной плазмы модели Cobra, диаметром 65 мм.

Системы на платформе PlasmaPro 80 идеально подходят для научных исследований и разработок или мелкосерийного производства, размеры подложек могут доходить до 200 мм. Отсутствие шлюзовой камеры обеспечивает быструю загрузку-выгрузку пластин, что идеально подходит для исследовательских работ, создания опытных образцов и мелкосерийного производства.

Технологические особенности системы:

• компактные габариты
• диаметр пластин до 200 мм
• низкая себестоимость продукции
• оптимизированная система охлаждения электрода
• превосходный контроль процесса
• превосходная равномерность температурного поля по пластине (подложке)
• гибкие пользовательские настройки
• большое количество возможных процессов
• превосходный контроль процесса травления и определение скорости процесса