Компактная система с открытой загрузкой спроектирована для получения высококачественных диэлектрических пленок.

Система плазмо-химического осаждения из газовой фазы. PECVD модули спроектированы для производства пленок с высокой равномерностью и скоростью осаждения. Система позволяет превосходно контролировать свойства пленок, такие как коэффициент преломления, поверхностное напряжение, электрические характеристики и скорость осаждения.

• открытая загрузка пластин
• компактные габариты
• подходит для исследовательских целей и мелкосерийного производства
• подложки диаметром до 200 мм
• быстрая загрузка-выгрузка пластин