Характеристики и описание
- Производитель
- Страна производительВеликобритания
Компактная система с открытой загрузкой спроектирована для получения высококачественных диэлектрических пленок с возможностью ассистирования индуктивно-связанной плазмой
Компактная, простая в использовании система осаждения покрытий с использованием источника индуктивно-связанной плазмы.
- открытая загрузка пластин
- компактные габариты
- подходит для исследовательских целей и мелкосерийного производства
- подложки диаметром до 200 мм
- быстрая загрузка-выгрузка пластин
- оптимизированный охлаждающийся нижний электрод с высокой равномерностью поля температур
- высокопроизводительная система откачки
Платформа для компактных систем Oxford Intruments PlasmaPro 80 ICP CVD
Под заказ
Цену уточняйте
Минск ∙
Доставка
Оплата и гарантии