Характеристики и описание
- Производитель
- Страна производительВеликобритания
Высокопроизводительная система плазмохимического осаждения с открытой загрузкой.
Система спроектирована для получения высококачественных равномерных покрытий. Контроль поверхностного напряжения пленок в системе PlasmaPro800 PECVD осуществляется при помощи воздействия плазмы низкой или высокой частоты. Существует возможность получения пленок с растягивающим, сжимающим и минимальным поверхностным напряжением.
Технологические особенности системы:
- размер обрабатываемых пластин до 300 мм
- высокая производительность процессов
- компактность
- превосходный температурный контроль подложек
- точный контроль параметров процесса
- контроль конечной точки травления для обеспечения повышенной надежности и удобства эксплуатации
- широкий диапазон размеров партий пластин и электрода
- низкая себестоимость продукции
- 4, 8 или 12 газовых линий для технологических процессов, причем баллоны с газами могут располагаться в сервисном помещении
Размеры обрабатываемых партий пластин:
| Размер пластины | Количество пластин |
|---|---|
| 50 мм / 2" | >43 |
| 100 мм / 4" | 12 |
| 150 мм / 6" | 5 |
| 200 мм / 8" | 2 |
| 300 мм / 12" | 1 |
Платформа плазменного травления Oxford instruments PlasmaPro 800 PECVD
Под заказ
Цену уточняйте
Минск ∙
Доставка
Оплата и гарантии