Система плазмохимического травления PlasmaPro1000 Astrea предлагает решения для всех обоснованных требований LED индустрии: высокая производительность; высокое качество продукции; низкая себестоимость продукции.

Система создана для работы с агрессивной химией, требуемой для получения LED материалов. PlasmaPro1000 Astrea обеспечивает высокую скорость травления и хорошую равномерность по пластинам, обрабатываемых в одной загрузке. Система создавалась с целью увеличения времени непрерывной работы и обеспечению удобства в эксплуатации.

Технологические особенности системы:

• 490 мм электрод обеспечивает высокую выработку продукции, есть возможность обработки партии пластин 7 x 6” 
• высокие качество продукции и выход годной продукции
• два места подачи рабочего газа в камеру для широкой возможности настройки процесса 
• надежное техническое обеспечение и простота в обслуживании позволяют максимизировать время эксплуатации 
• низкая себестоимость продукции
• шлюзовая камера в стандартной комплектации, открытая загрузка и возможность кластеризации - опционально 
• система спроектирована с учетом минимального загрязнения верхних деталей системы
• движущийся электрод для получения превосходной равномерности