Описание:

Универсальная кластерная система.

Система Clusterline SPM представляет собой самостоятельный процессный модуль (Single Process Module) кластерной системы Radiance BPM, который может функционировать как отдельно взятая установка, так и в составе кластерной линии. В качестве единичного процессного модуля могут выступать: магнетроны на постоянном токе (DC), магнетроны на ВЧ токе (RF) (комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением), модуль PECVD, модуль ICP - CVD, модуль RIE

 

 

 

 

 

Основные возможности:

• Работа с подложками до 300 мм
• Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
• Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
• Подвод до 8 технологических газов
• Нагрев (до 800°С), охлаждение (до -25°С)
• Возможность измерения напряжения на тонких подложках, чувствительных к температуре
• Быстрый и удобный доступ к модулю
• Независимая система откачки
• Несколько установок Radiance SPM могут быть соединены друг с другом, а также с Radiance BPM в одну производственную линию
• ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.