Преимущества

• Низкая стоимость владения
• Максимально длинные интервалы между обслуживанием
• Быстрое техническое обслуживание
• Рекордно высокая эффективность
• Быстрый выход на режим
• Высочайшая надежность

Применения

• EPI (высокий поток/Солнечные панели)
• Фотовольтаика
• Напыление кремния, диселенида галлия-индия-меди
• Производство солнечных батарей
• Очистительные процессы
• Вентиляция газораспределительных станций
• NH₃ обработка

Основные характеристики

• Подогреваемый входной фланец с тефлоновой вставкой
• Полностью автоматический PLC блок управления
• 5,000 стандартных литров в минуту – максимальная производительность

Серия скрубберов Airgard имеют подтвержденную временем высокую эффективность, непревзойденную надежность, и самые низкие эксплуатационные затраты за более чем 20-летнюю историю применения в полупроводниковой промышленности. Паровые скрубберы данной серии увеличивают период продуктивной эксплуатации основного оборудования за счет сокращения времени технического простоя скруббера практически до нуля. В настоящее время среди скрубберов Airgard появилась также модель с повышенной производительностью POU, удовлетворяющая растущим требованиям производителей солнечных батарей. Модель Cyclone XL сочетает в себе все возможные технические преимущества влажных скрубберов существующих в настоящий момент на рынке, а также имеет рекордную производительность в 5000 стандартных литров в минуту. Скрубберы серии Airgard – это всегда максимальная эффективность и минимальное техническое обслуживание возможное в отрасли.