Описание:

Системы нейтрализации газов EBARA G5, принцип работы которых, основан на разложении путем высокотемпературного воздействия и влажного скруббирования , широко применяются в полупроводниковой промышленности, солнечной энергетике и в технологиях нанесения тонких пленок. Основное назначение - это нейтрализация перфторуглеродов (ПФУ) и реакционных газов в процессах травления. Международные правила охраны окружающей среды, касающиеся выбросов ПФУ в атмосферу, становятся с каждым годом все более жесткими. В состав нейтрализатора G5 входит уникальная запатентованная "кольцевая" система сжигания, которая позволяет снизить содержание ПФУ до беспрецедентно низкого уровня. После термического разложения в системах G5 следуют мокрая очистка продуктов сжигания в высокоэффективных 5-ступенчатых водных скрубберах. Это позволяет задержать оставшуюся часть газов не подвергшуюся термическому разложению. Система оснащена резервуаром для воды для эффективного поглощения большого количества растворимых в воде газов и твердых продуктов сжигания. Производительность одной единицы системы составляет 350 ст. л/мин. (включая азот, необходимый для продувки вакуумных насосов). Система нейтрализации газов EBARA G5 применяется для утилизации побочных продуктов следующих процессов: PECVD (плазмохимическое осаждение), LPCVD и UHVCVD (химическое осаждение из газовой вазы в вакууме), травление, MOCVD (химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений), любые промышленные процессы, связанные с выделением перфторуглеродов (ПФУ).

 

G5-A3

 

 

Основные характеристики:

• Примеры нейтрализуемых газов: TEOS - SiO4C8H20, TEPO - PO4C6H15, TEB - BO3C6H15, NF3, O3 и др.
• Производительность: 350 ст. л/мин
• Входные фланцы: NW40KF, до 4
• Габаритные размеры: 1200(Ш) x 650(Г) x 1900(В) мм.
• Вес: 550 кг
• Электропитание: 3ф, 380В
• Потребляемая мощность: 2.1 кВт
• Потребление топлива в процессе горения (СПГ): 13 – 25 л/мин
• Кислород: 25 – 50 л/мин
• Воздух: 145 – 165 л/мин
• Азот: 13 л/мин
• Вода: 10 л/мин
• Охлаждающая вода: 3 - 60 л/мин

 

 

Преимущества:

• Высокая эффективность. Характеризуется отсутствием системы напуска воздуха или азота в линии выхлопа скруббера. Это позволяет правильно оценивать концентрацию нейтрализуемых газов на выходе из системы
• Высочайшие стандарты безопасности для обслуживающего персонала
• Низкая стоимость владения
• Высокая коррозионная стойкость. Все компоненты системы выполнены из материалов имеющие повышенную стойкость к коррозии для данного класса оборудования
• Автоматическая система очистки от отложений на внутренних частях системы
• Возможность использования, на выбор, сжиженного природного газа или пропана в качестве горючего в процессе сжигания

 

 

Дополнительные опции:

• Герметичный насос для перекачки воды. Насос необходим для перекачки жидкости в случае расположения бака вне системы очистки
• Система предварительного нагрева, для предотвращения конденсации и засорения входящих газовых линий
• Датчики давления на входе
• Датчики контроля утечки горючих газов