Особенности и преимущества:

• Система динамического окисления
• Встроенный водосорбционный скруббер
• Инновационная система очистки от твердых загрязнений
• Минимальное потребление воды
• Длительное время работы без обслуживания
• Очень простое обслуживание
• Полностью герметичный корпус

Обрабатываемые вещества:

• Хлор
• Тетраэтоксисилан (ТЭОС)
• Трёххлористый бор (трихлорид бора)
• Бромистый водород (бромоводород)
• Дихлорсилан
• Аммиак