Описание

Ключевые особенности и опции:

• Система управления температурой и влажностью в камерах
• Управление температурой подаваемого резиста
• Высокий показатель однородности слоя по пластине
• Высокий показатель воспроизводимости процесса от пластины к пластине
• Горячие и холодные плиты для термической обработки
• Модуль для обработки в парах ГМДС
• Модуль для экспонирования края пластины
• Система удаления валика на краю пластины
• Система отмывки обратной стороны
• Удобное ПО для работы с системой Компактная конструкция с роботом и кассетами
• Параллельная работа с подложками разных размеров
• Нанесение резиста на квадратные подложки
• Возможность работы с двумя типоразмерами пластин одновременно

Возможность установки:

• до 4 модулей нанесения/проявления фоторезиста

• до 8 горячих/холодных плит

 

Технические характеристики

Размер пластин и подложек:

• до 0200 мм
• до 150 мм х 150 мм

Количество технологических модулей:

• Нанесение/проявление - до 4 шт.
• Горячих/холодных плит - до 8 шт.

Количство линий подачи резиста:

• До 3 линий на модуль

Количество линий подачи проявителя:

• до 2 линий на модуль

Скорость вращения:

• до 6000 об/мин

Модуль обработки в парах ГМДС:

• от 50°С до 200°С (±0,8°С)

Горячая плита:

• от 50°С до 200°С (±0,8°С)

Холодная плита:

• от 20°С до 25°С (±0,2°С)

Загрузка пластин:

• автоматическая роботизированная

Габариты системы:

• 1550x1270x1800 мм