Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 2000 / MSX 3000.
Данная система имеет высокую производительность и низкую стоимость эксплуатации, гибкие опциональные возможности комплектации, модульная конструкция позволяет комплектовать каждую систему под индивидуальные нужды заказчика. Система идеально подходит для работы со степпером и автоматическими установками совмещения.
Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. В MSX 3000 - FOUP кассета опционально.
Размер подложки |
до 12’‘ (Ø 300 мм) / до 200х200 мм |
Возможность единовременной работы на двух типах подложек |
2” - 4” или 4” - 6”, 6” - 8”, 8” - 12” |
Количество технологических модулей |
нанесение/проявление до 6 шт. горячих/холодных плит до 18 шт. |
Скорость вращения |
до 6000 об/мин |
Ускорение |
Ускорение и скорость задается оператором |
Модуль адгезива с нагревом |
от 50 до 200°С |
Горячая плита (термостол) |
от 50 до 200°С (±0,8°С) |
Холодная плита |
от 20 до 25°С (±0,2°С) |
Управление |
Программатор |
Загрузка пластин |
автоматическая роботизированная |
Однородность нанесения от пластины к пластине |
0,23% |
Вакуумный прижим |
да |
Электропитание |
220 В, 50А, 1 фаза |
Размеры MSX 2000 |
2530 х 1350 х 1900 мм. |