Описание

Данная система предназначена на проведения процессов нанесения, задубливания и проявления фоторезиста, а также промывки. Технология RCCTT (уникальное запатентованное решение от компании Solar-Semi) обеспечивает полное отсутствие вибрации подложки для повышения однородности покрытия и лучший контроль процесса, особенно при нанесении толстых слоев фоторезиста, высокой топографии поверхности и при работе с квадратными подложками.

Отличительные особенности:

• Модульный дизайн
• Все процессы выполняются в одной установке 
• Сенсорный цветной экран управления на базе Windows
• Неограниченное количество программ 
• Неограниченное количество этапов на программу
• Камера из материала высокой чистоты 
• Управление остановкой, запуском и подачей вакуума осуществляется напрямую с технологического модуля
• Мощный безколлекторный двигатель для непосредственной передачи вращения
• Программируемые параметры процесса (вращение, подача резиста)
• Прозрачная крышка с датчиком, предотвращающим открытие во время проведения процесса 
• Неограниченное количество сохраняемых программ (перенос на USB накопитель)
• USB и Ethernet интерфейсы для переноса и хранения программ 
• Датчик вакуума с функцией контроля вакуума и блокировки
• Различные прижимы образцов

Области применения:

• Образовательный процесс, изучение принципа проведения процесса фотолитографии
• Научно-исследовательские работы в области фотолитографии
• Производство изделий микроэлектроники

Опции:

• Различные помпы для фоторезиста
• Система распределения фоторезиста под давлением
• Линия подачи нагретого фоторезиста
• Распределительные сопла – подача капли, целый поток (струя) для различных доступных носителей
• Программируемая подача азота
• Удаление кромок
• Система фильтрации для растворителя, фоторезиста и воды
• Дополнительная вакуумная помпа для прижима и фиксации подложки

 

Технические характеристики

• Материал рабочей камеры: полипропилен 
• Ввод программы: через сенсорный экран 
• Количество: программ неограниченно 
• Количество этапов на программу: неограниченно 
• Время процесса: 0,1-999 сек, шаг 0,1 сек  
• Размеры пластин: круглые 200 мм, квадратные 150 x 150 мм 
• Скорость вращения центрифуги: 1-10 000 об/мин, шаг 1 об*/мин  
• Ускорение: 1 – 50 000 об*мин/сек, шаг 0,1 сек

*в зависимости от веса и размера подложки

Модуль задубливания:

• температура нагрева до +300⁰С
• точность поддержания температуры ±1⁰С на 100⁰С
• пневматические подъемные пины для размещения подложек/пластин

Требования к подключению:

• Электропитание: 230 В, 50 - 60 Гц, 16 - 32 A
• Сжатый воздух: 8 бар
• Вакуум: -0,8 бар
• Опция азота: 4,0 бар

Габариты и вес:

• Встраиваемая модель: 470 x 460 x 596 мм (Ш x Г x В) + сенсорный экран 200 x 150 x 40 мм (Ш x Г x В)
• Отдельно стоящая система: 600 x 620 x 1.300 мм (Ш x Г x В)
• Отдельно стоящая система с модулем задубливания: 1200 x 620 x 1.300 мм (Ш x Г x В)