Описание

Установки совмещения и экспонирования серии NXQ4000 сочетают в себе возможность прецизионного совмещения и экспонирования, позволяют работать в режиме контактной литографии (мягкий/жесткий контакт), а также литографии с вакуумным контактом.

Серия полуавтоматических установок совмещения и экспонирования NXQ4000 идеально подходит для университетов и опытных производств так, как они могут обрабатывать пластины диаметром до 200 мм, а также кусочки пластин и подложек (в том числе типовой размер керамических подложек 60х48 мм), имеют простой в использовании интерфейс и гарантируют высокую надежность. Благодаря функции автоматического задания последовательности выполнения команд, которая обеспечивает простоту освоения и эксплуатации, установки данной серии являются идеальным выбором для лабораторий коллективного пользования. Также серия NXQ4000 может быть использована в мелко и среднесерийном производстве.

Отличительные особенности:

• Простой в использовании интерфейс
• Поддержка режимов вакуумного и контактного экспонирования 
• Экспонирование пластин диаметром до 200 мм и кусочков пластин и подложек 
• Опции совмещения по обратной стороне и УФ наноимпринтлитография
• Функция загрузки пластин и подложек с помощью трэя обеспечивает превосходную повторяемость установки изделий непосредственно на вакуумный держатель 
• Размеры подложек от 5 мм до 200 мм в диаметре
• VideoView микроскоп с камерами высокого разрешения и мониторам Dual HD. Раздельный/совмещенный видеомикроскоп, объектив 5Х (бесконечность), 7Х оптический зум (выбор глубины фокуса и увеличения)/ Опционально объективы 2Х, 10Х или 20Х
• LED подсветка через объектив
• Высокое разрешение и низкая дифракция оптики экспонирования
• Мягкий, жесткий и вакуумный контакт, ручное экспонирование с зазором
• Ручной XY джойстик и микрометр оси Theta 
• Ось Z – воздушный подшипник – высокая надежность и отсутствие обслуживания 
• Простая загрузка подложек с помощью трэя 
• Автоматическая система клиновой компенсации и перемещения по зазору после загрузки пластины
• Простая верхняя загрузка масок (шаблонов)
• UltraSense источник питания, режим постоянного питания или интенсивности УФ
• Виброизоляционный стол в стандартной комплектации
• Превосходная надежность, минимальное обслуживание и низкая стоимость владения 

Области применения:

• Микроэлектроника
• LED
• 3D IC
• SIOP
• МЭМС
• Микрофлюидика
• Оптоэлектроника

Опции:

• ИК совмещение по обратной стороне
• Оптическое совмещение по обратной стороне
• QuadCam – 2 HD CCD камеры высокого разрешения на один микроскоп – Эта опция позволяет мгновенно переключать увеличение без необходимости перефокусировки
• Hg-Xe оптика
• Ручной микрометр XY совмещения
• Интегрированное аппаратное и программное обеспечение для УФ наноимпринтлитографии
• Автоматизация

 

Технические характеристики

• Режимы экспонирования: Мягкий, жесткий, вакуумный контакт и печать с микрозазором 
• Разрешение экспонирования (с вакуумным контактом*): до 0,6 мкм
• Размер подложек от кусочков до пластин: диаметром 200 мм, толщина до 10 мм
• Размеры масок: От 76х76 мм до 228х228 мм. 

Стол совмещения:

• Перемещение по XY: ±3.8 мм
• Перемещение по Theta: ±7°
• Разделение маски/пластины (зазор): 0-180 мкм
• Точность совмещения по верхней стороне: <1 мкм
• Точность совмещения по обратной стороне: <1,5 мкм

*Выбирается оператором/зависит от процесса: < 3 мкм (ИК)

Диапазон перемещения VideoView микроскопа:

• Левый микроскоп по X:-22 мм до угла пластины 
• С объективом смещения: - 5,5 мм до угла пластины
• Правый микроскоп по X: +22 мм до угла пластины
• С объективом смещения: +5,5 мм до угла пластины
• Левый и правый микроскоп по Y: ±12.7 мм

* Дополнительное перемещение по оси Y (Опция): +12.7 мм - -88мм

УФ оптика:

• УФ корпус: 350/500Вт или 500/1000 Вт
• Оптика экспонирования: 350-450 нм
• Ближний ультрафиолетовый диапазон (Опция): 280-350 нм 
• Средний ультрафиолетовый диапазон (Опция): 280-450 нм
• Дальный ультрафиолетовый диапазон (Опция): 220-280 нм 
• Однородность экспонирования: ±4% на диаметре 150 мм

Управление:

• Программирование и контроль процессов 
• Программируемый логический контроллер с ЖК-дисплеем
• Удобный интерфейс оператора с  функцией управления операциями через меню

Системные требования:

• Электропитание: 220В, 50Гц, одна фаза
• Сжатый воздух: 5,4 бар
• Вакуум: -0,7 бар
• Азот (или сжатый воздух): 3 бар
• Габаритные размеры: 1220х915х1423 мм
• Вес: 217 кг