Описание:

Революционный концентрированный пучок ионов ультранизкой энергии.

Система подготовки образца 1040 NanoMill TEM является отличным инструментом для создания высококачественных тонких образцов, необходимых для современной визуализации и анализа с помощью просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ). Она идеально подходит как для пост-ФИП (сфокусированный пучок ионов) обработки, так и для совершенствования условно подготовленных образцов.

Направленное «нано-травление» с использованием ультранизких энергий.

Система NanoMill оснащена газовым источником ионов, что позволяет получать ионы с такими низкими энергиями, как 50 эВ при размере пучка всего 2 микрона. Это дает возможность готовить образцы без аморфизации, имплантации или переосаждения. Ионной пучок может быть прицельно направлен в конкретное место на поверхности. Детектор вторичных электронов (secondary electron detector - SED) используется для визуализации вторичных электронов (индуцированных ионами), сгенерированных в области поверхности образца, интересующей исследователя.

Автоматическое функционирование.

Система NanoMill легко программируется. Регулируемые энергии ионного пучка, углы травления, вращение образца и параметры криогенного охлаждения образца обеспечивают максимальную гибкость в работе, что способствует оптимальной подготовки широкого спектра различных образцов. Управляемый клапан блокировки вакуумного насоса облегчают быструю смену образцов для приложений, нуждающихся в высокой пропускной способности.

Основные характеристики:

• Размер пучка2 мкм
• Толщина образцов10-30 нм
• Охлаждение предметного столика с помощью LN2
• Удаление аморфных и имплантированных слоев
• Обработка и травление традиционно приготовленных образцов с помощью сфокусированного пучка ионов
• Источник ионов ультранизких энергий
• Остронаправленный пучок ионов