attoSPHERE – компактный сканирующий туннельный микроскоп, разработанный, главным образом, для применения при комнатных температурах в тяжелых условиях (например, изменяющиеся температуры или неидеальные значения затухания). Благодаря уникальной, практически эксклюзивной комбинации материалов (инвар и керамика) и цилиндрической форме с компенсацией температуры, attoSPHERE позволяет за очень короткое время получать изображения с атомным разрешением даже в неидеальных условиях. Устройство по принципу «включил и работай» делает данную модель незаменимой для проведения топографических и спектроскопических измерений, контроля быстрых процессов, анализа отказов в наноэлектронике, проведения фундаментальных исследований и др. Микроскоп attoSPHERE совместим с условиями высокого вакуума и любыми чистыми комнатами.
Окружающая температура |
27-127 °С |
Рабочее давление |
От 10-6 мбар до 1 бар |
Размер образца |
До 10мм в диаметре или квадратный образец размером до 7х7 мм |
Позиционирование |
Грубое позиционирование в области 5 мм |
Диапазон сканирования |
1.4 x 1.4 мкм² |
Шаг измерений (при Т=27°С) |
0.05 … 1.5 мкм, 75 нм при |
Размер прибора |
Диаметр – 35мм, высота - 50мм |